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產品Product

等離子-QT-80-PSP(6萬)(價格面議)

  • 品 牌: 啟天科技
  • 型 號: 等離子-QT-80-PSP
  • 單 價: 60000.00~200000.00/臺
  • 所在地:廣東 東莞市
  • 有效期至:長期有效
  • 最后更新:2019-06-19
 一 概述 等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進分子、光子以及中性粒子組成。是物質的第四態。 由于等離子體是具有比氣體更高的能量組合體,處于等離子體環境中的物質可以獲得更多的物理化學等反應特性。 等離子清洗的機理是依靠處于“等離...
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產品介紹
 一 概述

等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進分子、光子以及中性粒子組成。是物質的第四態。

由于等離子體是具有比氣體更高的能量組合體,處于等離子體環境中的物質可以獲得更多的物理化學等反應特性。

等離子清洗的機理是依靠處于“等離子態”的物質的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。從目前各類清洗方法來看,等離子體清洗也是所有清洗方法中最為徹底的剝離式的清洗。可以應用于半導體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

該設備等離子體頻率13.56MHz;射頻電源功率0~600W可調。產品使用環境條件為潔凈廠房和要求干燥的地方,產品工作條件為工頻制電源,并有氣源。本產品對環境無污染。


二 結構特征及工作原理

QT-系列-PSP型等離子體清洗機結構示意圖見圖1:

圖1外形僅供參考

QT-系列-PSP等離子體清洗機的工作原理是在真空狀態下,利用射頻電源使得氧、氬、氫等氣體生成具有高反應活性的粒子,與有機污染物反應形成揮發性化合物,然后由工作氣體流將這些揮發性物質清除出去。

各主要功能部件結構及工作原理如下:
1) 反應倉:采用不銹鋼制造,是進行等離子體清洗的工作區。
2) 骨架:是設備的機械支撐。
3) 供氣系統:為等離子體清洗提供特定的工作氣體。
4) 射頻電源:產生13.56MHz的高頻電源,激發等離子體。
5) 真空系統:用于抽真空,以提供合適的工作壓力。
6) 控制系統:對整個設備進行控制,可實現多種工作模式。


三 主要性能指標

主要技術參數:

1) 整機外形尺寸(約): 900W×1700H×1000D(mm) 外觀噴塑處理;
2) 反應倉尺寸: W450mm×H400mm×D450mm;
3) 電源:主系統電源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz~60Hz  三相五線
4) 等離子體頻率:13.56MHz;
5) 射頻電源功率:(0~600)W連續可調;
6) 設備功率:≤3kW
7) 控制方式:采用包括觸摸屏人機界面的PLC控制,操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理,可同時存儲50組不同的配方。使用時只需要將相應配方號調出即可。設備參數分級管理,設備操作員、工藝人員、維護人員使用不同口令管理不同參數,提高設備安全性。手動模式用于實驗工藝以及設備維護維修
8) MFC質量流量計控制(標準配置2路)
9) 氣體流量:(0~200)ml/min (標準氣壓,0℃)
10) 工作氣體(氧、氬等)接口壓力:0.35~ 0.45MPa
11) 壓縮空氣(啟動氣動角閥)接口壓力:0.5Mpa
12) 凈化冷卻氣體(氮氣)接口壓力:0.35~ 0.45MPa
13) 設備工作節拍:單次清洗時間≤6min(反應時間180S左右)
14) 工作真空度:10~150Pa


等離子清洗機操作規范

1、 注意開啟氣瓶時先松掉左邊管路的調節閥,然后開啟總閥,再慢慢開啟左邊管路的調節閥,使外圍管路有氣壓,氣壓調至0.3Mpa。
2、 點擊電源啟動按鈕,系統上電,待出現自動模式界面,請先讀取配方,觀察當前配方參數是否為所需配方。
3、 初次清洗時(如交接班時)應該執行空洗模式,空洗配方為6號配方。
4、 所有取放料工作人員取放物料必須戴防燙傷手套,物料工件嚴禁直接用手指觸碰,否則會發黃。
5、 物料采用不銹鋼托盤成疊放置,工件必須豎直朝上,四周邊沿用不銹鋼夾具靠緊,夾具高度比工件高2mm左右,托盤放置于玻璃板上方中央,玻璃板水平置于電極板中央,注意物料中嚴禁放置紙片等其他富含氧材料,否則會造成工件發黃。
6、 注意防止任何情形下的將倉體中的正負極導通,否則可能會使射頻電源損壞。
7、 腔體中最多單次工件清洗總量不要超過       ,每盤最多可放      。
8、 請針對污染或氧化等嚴重程度分為三個等級,分別采用三種配方清洗,其中配方1作為常用配方,當污染輕微時采用配方2,當污染極其嚴重時采用配方3。
9、 關好門并壓緊的同時點擊工藝啟動,門被吸緊后即進入正常工作狀態,請注意機器是否有異常報警,一旦發現異常請按急停或處理所提示的故障,正常工作結束后,戴上防燙傷手套打開門取出物料。
10、 當設置的工作氣體是氬或者氬氫混合氣體時,如果發現腔體內發光長時間呈紅色,則說明有真空泄露,應及時停機處理,否則可能會對工件造成氧化。
11、 每次清洗完的工件最好抽取樣品用純水滴于表面看是否擴散良好,擴散越大的清洗效果越好,或者用達因筆在表面畫一條直線,看是否連續不間斷,以墨水涂覆均勻為佳。

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